PECVD Tüp Fırını
PECVD tüp fırını, bir kuvars reaksiyon odası, bir radyo frekansı güç kaynağı, çok kanallı bir gaz karıştırma sistemi, bir vakum ünitesi ve bir reaksiyon kontrol sisteminden oluşan bir plazma gaz fazı biriktirme tüp fırın sistemidir. Fırın, yüksek saflıkta alümina fiber malzeme kullanır ve cihazın servis ömrünü uzatmak ve ısıtma verimliliğini artırmak için yüzey ithal yüksek sıcaklıkta alümina kaplama ile kaplanır. Reaksiyon gazını iyonize etmek ve plazma oluşturmak için geleneksel kimyasal buhar birikiminin önüne bir radyo frekansı indüksiyon cihazı monte edilir. Plazmanın yüksek aktivitesi reaksiyonu hızlandırır. İyi bir tekdüzelik ve tekrarlanabilirliğe sahiptir, geniş bir alanda film oluşturabilir, düşük sıcaklıklarda film oluşturabilir, mükemmel adım kapsamına sahiptir ve filmin bileşimini ve kalınlığını kontrol etmek kolaydır ve sanayileştirilmesi kolaydır. Grafen, silikon monoksit, silikon nitrür, silikon oksinitrid ve amorf silikon (A-SI: H) gibi ince filmlerin büyütülmesinde yaygın olarak kullanılır.
| Fırın tüpü boyutu (MM) | Çalışma sıcaklığı (°C) | Vakum derecesi | Güç(KW) | Gerilim | Isıtma elemanları | Isıtma hızı |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0.1MPA 10PA 6.67*10-4PA | 3 | 220/380V | Direnç teli | 1-20°C/DAK |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
Fırın imkansız bir sıcaklığa ulaştığı için fırın astarı nadiren arızalanır. Refrakter malzemenin yanlış ısı, kimya, yük ve termal döngü karışımı için seçilmesi nedeniyle genellikle başarısız olur. Semptomlar tanıdıktır: sıcak yüzdeki dökülmeler, açık eklemler, aşınmış ankrajlar ve aylarca sessizce gaz veya elektrik tüketen bir kabuk. Kısa cevap: fırın refrakter malzemesini ilk önce arıza moduna, ikinci olarak sıcaklığa ve üçüncü olarak fiyata göre seçin. Seramik elyaf...
